对于安川机器人的三轴变位机编程，具体步骤和方法可以参考以下操作流程：
1. 安装安川机器人控制器的编程软件，如RobotStudio。
2. 连接安川机器人控制器与三轴变位机，确保连接稳定。
3. 在软件中创建一个机器人工作站，选择合适的机器人模型和控制器型号。
4. 设置机器人的工作范围、编码器等相关参数，确保机器人正确地获取位置和角度信息。
5. 根据工件需要的位置和路径，实现基于位置或基于路径的运动规划，完成机器人的编程任务。
6. 在编写程序时，需要严格遵守安全规范，在机器人运动超出所设置的工作范围时，程序需要及时停止机器人的运动，避免对人员和设备造成危害。
需要注意的是，安川机器人的编程方式可能因控制器型号和具体应用情况的不同而有所差异，以上仅为一般性的操作流程和步骤，实际编程时还需要根据具体情况进行相应的调整和优化。建议在编程操作过程中，谨慎、细心、耐心，以确保机器人的编程工作能够顺利完成。